在制造领域，，，，，，测得出，，，，，，才华造得出；；；；；；测得准，，，，，，才华造得精。。。而在微观标准下的集成电路等纳米制造领域，，，，，，测得准更是至关主要，，，，，，纳米计量是实现纳米制造准确性的条件和包管。。。
基于量子化光晶格常数的纳米标尺高精度制造手艺 本文图片均为受访者供图
2026年7月8日，，，，，，2025年度国家科学手艺奖励大会在北京召开。。。由同济大学牵头完成的《量子化光晶格常数的纳米计量要害手艺及集成电路应用》项目荣获国家科学手艺前进奖一等奖。。。
历经二十余年攻关，，，，，，项目团队制造出一系列纳米级长度和角度国家一级标准物质，，，，，，为集成电路等纳米制造领域提供了校准与标定用的“精准标尺”。。。项目团队捉住国际单位制（SI）量子化厘革的机缘，，，，，，发明了量子化光晶格常数的纳米计量手艺，，，，，，缩短纳米计量转达链，，，，，，提升扁平化水平，，，，，，更适用于解决工业应用问题。。。
一把精准的量子化纳米标尺，，，，，，其刻度归根结底由原子组成。。。原子在牢靠位置，，，，，，排列得越整齐，，，，，，刻度才越精准，，，，，，纳米标尺就越准确。。。？？？？墒牵跹靡谕蚋鲈幼既吩瘸埔恢碌嘏帕械搅孔踊Ｊ睦慰课恢蒙夏兀？？？？
基于量子化光晶格常数制造纳米标尺的细密装置
项目团队立异接纳了“量子化光晶格”手艺。。。“量子化”，，，，，，源于铬原子在真空中的量子跃迁波长——自然的量子化纳米常数。。。使用光频梳把激光锁定在这个量子化波长上，，，，，，两束相向而行的激光便在空间中叠出一列明暗相间、周期恒定的驻波，，，，，，这就是“量子化光晶格”——宛如一副用光铸成的“模具”，，，，，，格点周期（即晶格常数）恰恰即是量子化激光波长的一半，，，，，，与铬原子的量子化跃迁波长这一自然常数牢牢“锁定”。。。
随后，，，，，，经激光横向冷却而“清静”下来的铬“冷原子”穿过光晶格，，，，，，被光场逐一指导、落位到格点之上，，，，，，在基底上生长出一排排整齐的刻线。。。？？？？潭炔皇腔悼坛隼吹模窃诱兆抛匀唤绯Ｊ庹拧巴贾健弊约骸罢尽背隼吹摹祷崮ニ稹⒒崞疲匀唤绯Ｊ换幔蛳衷诙茸匀痪褪蔷嫉摹⒁恢碌。。。
基于上述原理，，，，，，项目团队建设了量子化光晶格物化为直接溯源光栅标准（纳米标尺）的超稳制造手艺和装置，，，，，，系列光栅获批5项国家一级标准物质。。。纳米长度标准物质的三年恒久稳固性、样品间一致性均抵达皮米量级（千分之一纳米）水平，，，，，，还首次建设了我国纳米标准下的角度标准物质。。。精准的“纳米标尺”，，，，，，能够为集成电路等先进纳米制造的校准与标定提供有力支持。。。
团队乐成研制晶圆级标准片并获批多项国家二级标准物质
古板纳米计量为纳米制造工业提供校准和标定，，，，，，需要多级的量值转达，，，，，，好比一场“接力赛”，，，，，，每“接力”一次，，，，，，累积误差就会增添。。。但量子化光晶格常数铸出的“纳米标尺”，，，，，，是具备复现“米”界说功效的标准物质，，，，，，无需层层“接力”，，，，，，可以实现工业现场一步校准、直接溯源，，，，，，更适用于“扁平化、嵌入式、小型化”等现场应用需求强的场景。。。
该研究效果作为焦点手艺之一，，，，，，支持实现了我国首批高端仪器装备计量测评装置的乐成研制。。。项目团队也为解决集成电路量检测装备所需晶圆级标准片的制造、定值和应用难题提供了特色方案，，，，，，系列晶圆级标准片获批国家二级标准物质，，，，，，在国产集成电路量检测装备企业实现应用。。。
陪同着国际计量学界“计量单位量子化”与“量值转达扁平化”的生长趋势，，，，，，项目组体现，，，，，，作为支持先进纳米制造的质量基础和共性要害手艺之一，，，，，，基于量子化光晶格常数为纳米制造铸造的“精准标尺”将会一直迸发蓬勃生气，，，，，，有力支持纳米制造工业高质量生长。。。
