文 | 半导体工业纵横

在已往数十年中，，半导体光刻手艺一直被视为现代工业皇冠上的明珠。。。。。荷兰ASML依附在EUV光刻手艺上的绝对垄断，，不但掌控了全球先进制程芯片的生杀大权，，更成为全球科技地缘博弈的狂风眼。。。。。然而，，步入2026年，，这一看似坚不可摧的单极霸权名堂正在爆发深刻而重大的裂变。。。。。

从日本光学巨头尼康悍然发动深紫外DUV价钱战，，到美国新创公司Substrate宣称突破X射线微影瓶颈并扬言直面挑战台积电；；；；；；从韩国存储巨头对ASML装备的大手笔抢购，，到台积电对超高价High-NA EUV光刻机的态度——全球光刻工业正迎来一场多维度、深条理的手艺与商业大洗牌。。。。。

01 尼康的“降维还击”

2026年5月尾，，尼康新任总裁兼CEO大村泰弘在接受专访时果真宣布：尼康将通过大幅降低ArF浸没式光刻机售价，，正面挑战ASML在DUV领域的垄断职位。。。。。

这一战略既是自动的战略还击，，也是被逼至悬崖边沿的求生之举。。。。。2026年3月，，尼康宣布了其自1917年建设以来最惨烈的亏损预警——2025财年预计净亏损850亿日元，，创百年最差纪录。。。。。在阻止2025年3月的已往半年中，，尼康光刻机出货量仅为9台，，且所有为手艺含量较低的成熟制程装备；；；；；；ArF系统出货量甚至为零。。。。。曾在2001年占有全球光刻市场40%份额、与英特尔深度绑定的光刻霸主，，现在市占率已跌至个位数。。。。。

大村泰弘打响价钱战的底气，，源于尼康高度自主化的工业链。。。。。他在专访中指出，，尼康许多焦点零部件均为内部生产，，这使得公司在本钱控制上拥有自然优势，，即便大幅降价销售，，依旧能够包管可观的利润。。。。。据业内估算，，尼康新型ArF光刻机售价有望比ASML同类产品低20%至30%。。。。。

这一战略精准切中了晶圆代工厂的焦点痛点。。。。。只管EUV光刻机在3nm及以下制程中不可或缺，，但在现实生产中，，纵然是最先进的3nm芯片，，凌驾70%的光刻工序仍由ArF浸没式光刻机配合多重曝光手艺完成。。。。。现在ASML的高端ArF浸没式装备均价约为8250万美元，，关于需要大规模扩产的晶圆厂而言，，装备采购本钱在资笔僻出中占比极高。。。。。尼康若能提供性能相当但自制20%以上的替换方案，，将为晶圆厂节约巨额投资。。。。。

为彻底作废客户的后顾之忧，，尼康接纳了"兼容性"战略。。。。。据悉，，尼康妄想在2028财年推出新一代ArF浸没式平台，，该平台配备全新镜头和晶圆台，，最要害的是能够与ASML现有产线装备实现无缝兼容——晶圆厂无需重新修改工艺参数即可直接引入。。。。。现在尼康正与美国和亚洲多家芯片厂商洽谈，，部分相助已靠近签署采购订单。。。。。

不过，，光刻装备采购决议极其守旧，，晶圆厂对良率和稳固性的要求远高于对价钱的敏感度。。。。。大村泰弘自己也坦承，，除英特尔外，，尼康在其他客户中缺乏足够的业绩纪录，，且售后支持能力尚未赢得市场普遍信任。。。。。能否在短期内重修客户信心，，是这场价钱战成败的要害变量。。。。。

02 首创公司的“手艺奇袭”

在尼康试图通过价钱战分食DUV存量市场的同时，，美国首创公司则试图通过手艺范式的革命，，从底层倾覆ASML赖以生涯的EUV帝国。。。。。

2026年5月，，美国新创公司Substrate宣称已乐成突破X射线微影手艺瓶颈。。。。。该公司扬言将以仅5000万美元的装备工具本钱，，挑战ASML造价近5亿美元的High-NA EUV光刻机，，并直接在晶圆代工市场与台积电、三星睁开竞争。。。。。

X射线微影在已往数十年中一直无法走出实验室，，焦点原因在于其穿透力极强、极难被反射或聚焦，，且爆发高强度X射线所需的同步加速器装备往往长达数百米，，基础无法容纳于现代晶圆厂的清洁室中。。。。。Substrate的突破在于将紧凑型粒子加速器直接集成到微影系统中，，使用射频腔将电子加速至靠近光速，，再通过准确排列的磁场结构爆发高度聚焦的X射线——相当于将数百米周长的同步加速器原理压缩至工厂厂房标准。。。。。

凭证Substrate宣布的起源数据，，该手艺已实现12纳米特征尺寸的打印能力，，全晶圆CD误差仅0.25纳米，，精度抵达原子级别。。。。。更要害的是，，X射线的超短波长使其可对所有芯片层接纳单次曝光方案，，彻底取代现在EUV和DUV产线中极其重大的多重曝光制程。。。。。其商业模式同样激进——不卖光刻机，，而是自建晶圆厂直接提供代工服务，，直面台积电和三星。。。。。

另一条路径则是对EUV光源自己的升级。。。。。6月2日，，美国商务部与国家标准手艺研究所（NIST）正式签署最终协议，，凭证《芯片与科学法案》向激光手艺公司xLight提供1.5亿美元联邦激励资金，，支持其在纽约阿尔巴尼纳米科技中心建设并演示首个自由电子激光原型机。。。。。

古板EUV光刻机通过激光照射锡滴爆发13.5纳米光源，，每台装备配备一套自力且效率有限的光源系统。。。。。xLight开发的FEL手艺则通过高能电子束爆发超高功率的相关光源，，可将光源系统移至晶圆厂外部，，同时为多达16台光刻扫描仪供光，，大幅提升现有EUV产线的产能与良率。。。。。xLight CEO Nicholas Kelez体现："光刻立异是再起摩尔定律的要害。。。。。"

同日，，从ASML分拆出来的量测公司Invisix也宣布完成逾额认购的2000万欧元种子轮融资，，投资方包括日立创投、imec.xpand和斗山投资等。。。。。该公司使用软X射线举行非破损性高通量3D量测，，解决先进制程中"看不见就造不出"的良率瓶颈。。。。。这一手艺在ASML内部孵化凌驾十年，，已与英特尔和imec相助验证了下一代GAA晶体管架构的丈量能力。。。。。

只管这些前沿手艺描绘了诱人蓝图，，但工业界仍坚持审慎。。。。。X射线的超高能量意味着现有光刻胶、掩模版及光学元件质料在照射下会迅速降解，，行业必需从零重修整套质料系统。。。。。从实验室到量产，，EUV手艺走了近二十年，，这些前沿手艺距离真正的商业化量产也至少还需五年以上。。。。。

03 ASML的“冰火两重天”

作为行业绝对霸主，，ASML正处于一种奇异的"冰火两重天"田地。。。。。

从财务数据看，，ASML依然维持着强盛的统治力。。。。。2026年一季度，，ASML实现总净销售额88亿欧元，，净利润28亿欧元，，毛利率高达53%，，整年营收指引上调至360亿至400亿欧元。。。。。韩国以45%的营收占比匀积为ASML全球第一大市场。。。。。2026年3月，，SK海力士向ASML抛出价值69亿欧元的EUV大单，，以确保其在HBM4等下一代AI存储芯片竞争中的手艺领先。。。。。三星电子亦斥资1.1万亿韩元购入两台第二代High-NA EUV光刻机。。。。。

资源市场对ASML的信心在6月初抵达新高。。。。。6月3日，，摩根士丹利将ASML目的价从1400欧元大幅上调至1660欧元，，维持"增持"评级，，预计ASML 2027年将交付90台EUV，，2028年抵达104台（含8台High-NA）。。。。。同日，，摩根大通揭晓更为乐观的展望，，以为ASML通过缩短制造周期、转用研发清洁室、将High-NA产能转为Low-NA等四种路径，，2027年Low-NA EUV现实交付能力可突破110台，，远超此前市场守旧预计的80台上限。。。。。摩根大通明确指出，，市场对ASML 2027和2028年的盈利预期"实质性偏低，，需要大幅上修"。。。。。

然而，，在富贵的财务数据与投行赞歌背后，，ASML最尖端的手艺结晶——售价超4亿美元的High-NA EUV光刻机，，正面临最大客户台积电极具现实主义的审阅。。。。。

2026年6月4日，，在台积电年度股东；；；；；；嵘，，董事长兼总裁魏哲家亲自出面，，针对外界关于"台积电因本钱过高拒绝投资High-NA EUV"的传言举行了果真澄清。。。。。魏哲家首次透露，，台积电早已购入High-NA EUV装备，，并已在研发中心睁开起劲使用与测试。。。。。他甚至诙谐地对股东体现："我们已经买了，，数目说出来都有点欠盛意思。。。。。"

但魏哲家随即明确了台积电的商业底线——已买，，但暂不投入量产。。。。。他诠释称，，High-NA EUV至今未导入大规模量产，，原因纯粹在于"本钱过高"。。。。。台积电妄想于2029年推出的A13和A12先进制程，，将继续依赖现有标准EUV多重曝光手艺。。。。。只有当装备运行本钱下降、能让客户在商业上真正受益时，，才会导入量产线。。。。。

这一战略与英特尔形成鲜明比照。。。。。英特尔在其14A节点周全绑定High-NA EUV，，妄想2027至2028年率先量产。。。。。台积电则选择榨取现有Low-NA装备的折旧盈利与工艺极限，，维持高达53%以上的毛利率。。。。。对ASML而言，，台积电的"已买暂不必"意味着High-NA的量产出货爆发期将被推迟两到三年，，高昂研发本钱的接纳周期被拉长。。。。。

更深层的隐忧来自地缘政治。。。。。随着出口管制的步步紧逼，，中国大陆市场在ASML营收占比已从2024年的41%骤降至2026年一季度的19%。。。。。ASML CEO富凯在5月的比利时安特卫普峰会上留下了意味深长的比喻："若是我把你放到沙漠里，，告诉你以后再也没有食物泉源了——你需要多久才华自己开垦出一块菜园？？？？？？"这既是对中国被迫自研的客观形貌，，也是ASML对自身失去最大增量市场的隐忧。。。。。

SEMI最新展望显示，，全球半导体制造装备销售额将从2025年的1330亿美元增添至2027年的1560亿美元。。。。。市场研究机构预计，，全球EUV光刻市场规模将从2025年的105亿美元增添至2035年的739亿美元，，年复合增添率约21.6%。。。。。台积电魏哲家在6月4日股东会上强调，，"数年内芯片供不应求的时势都无法缓解"，，2026年资笔僻出将偏向560亿美元的上限。。。。。

在这一重大的需求洪流中，，光刻工业的名堂正在被四股实力重新界说。。。。。其一，，尼康的ArF本钱战，，试图降低晶圆厂扩产门槛。。。。。其二，，Substrate的X射线微影与xLight获得1.5亿美元联邦资助的自由电子激光，，正试图从底层改写光源交付模式与代工准入门槛。。。。。其三，，台积电以"已买暂不必"的姿态看待High-NA EUV，，选择榨取现有Low-NA装备的折旧盈利。。。。。其四，，出口管制将中国市场从ASML营收占比41%压缩至19%，，全球光刻供应链正从一体化走向区域化割裂。。。。。

全球半导体光刻正在离别"赢家通吃"的黄金时代，，迎来手艺路径分化、商业模式多元、地缘名堂割裂的多极化时代。。。。。关于ASML而言，，它仍是行业最不可替换的保存——摩根大通和摩根士丹利的乐观预期证实晰这一点。。。。。但"不可替换"不即是"高枕无忧"。。。。。当最大的客户对最贵的装备说"暂不量产"，，当最大的市场被政策强行隔离，，当新光源与新范式在边沿野蛮生长——光刻巨头需要回覆的问题已不再是"谁能挑战我"，，而是"增添的极限在那里"。。。。。

其次，，要买通城乡壁垒，，盘活资源化使用路径。。。。。驻足都会垃圾焚烧产能过剩、农村垃圾处理难的现状，，树立城乡统筹“一盘棋”头脑，，建设农村垃圾统一收运、集中处理系统，，将农村垃圾纳入城镇焚烧处理工业链。。。。。推广农村垃圾分类，，对餐厨垃圾、农业废弃物等举行就地资源化使用，，既镌汰转运量、降低处理本钱，，又能变废为宝，，实现城乡垃圾处理的系统生长与价值最大化。。。。。