快科技6月8日新闻，，，，，，针对外界称台积电因守旧不肯投资下一代光刻装备的传言，，，，，，台积电董事长魏哲家克日在股东大会上亲自辟谣，，，，，，体现有买High-NA EUV光刻机，，，，，，且正起劲研发，，，，，，但基于本钱考量，，，，，，现阶段暂不投入量产。。。

这台ASML研发的最新High-NA EUV光刻机，，，，，，每台单价高达3.8亿至4亿美元，，，，，，是目今主流EUV装备的两倍多。。。魏哲家坦言，，，，，，装备太贵是暂不量产的主因。。。

台积电的战略是先用能手里现有的EUV装备。。。魏哲家强调，，，，，，现有光刻机搭配多重图案化手艺，，，，，，仍足以支持先进制程的微缩需求，，，，，，台积电有底气等High-NA EUV的经济账算得更划算时再脱手。。。

台积电早在2024年9月就吸收了首台High-NA EUV光刻机，，，，，，并安顿在研发中心用于开发下一代工艺的基础光刻手艺。。。魏哲家以为，，，，，，提前启动研发准备，，，，，，才华确保未来投产时抵达可靠良率与产出效率。。。

不过他坦言，，，，，，要把这台4亿美元的装备真正用起来，，，，，，还需再等等。。。英特尔等竞争者早已将High-NA EUV提上量产日程，，，，，，而台积电选择先研发、后投产更稳妥的蹊径，，，，，，切合其一直的本钱纪律。。。

魏哲家预计，，，，，，High-NA EUV将在真正需要单次曝光实现更细微线宽且晶圆本钱最先具备竞争力的时间点，，，，，，自然进入生产系统。。。

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