全球首发:国产镓仁半导体建成6/8英寸氧化镓同质外延量产线
IT之家 7 月 6 日新闻,,,,杭州镓仁半导体有限公司(下称“镓仁半导体”)今年 6 月宣布,,,,基于自研铸造法单晶生长与 MOCVD 外延工艺,,,,建玉成球首条 6/8 英寸氧化镓同质外延量产线,,,,向头部芯片客户批量供货。。
在长晶环节,,,,镓仁半导体依赖全球独创的铸造法长晶手艺,,,,稳固生长出超厚氧化镓晶体。。连系公司超薄衬底加工手艺,,,,将衬底出片量提升至原有 3 至 4 倍。。别的,,,,铸造法也进一步降低了贵金属铱的用量,,,,使衬底单片本钱较原来降低 80% 以上,,,,显著降低下游器件厂商的质料本钱。。
在外延环节,,,,镓仁半导体手艺团队针对(100)面特点优化要害工艺参数,,,,设计特色 MOCVD 外延工艺,,,,成为全球首家且唯逐一家商用 6 英寸氧化镓同质外延的供货厂商。。公司出品的 6 英寸氧化镓同质外延片外延层厚度大于 10 μm,,,,膜厚方差小于 1%,,,,匀称性优异。。
此前,,,,氧化镓同质外延片在全球规模内保存尺寸小、产能低、均一性差等痛点,,,,很难知足工业化需求。。镓仁半导体此次不但实现了 6 英寸氧化镓同质外延片的全球首片交付,,,,更是买通“单晶-衬底-外延”的全流程稳固量产能力,,,,建玉成球首条 6/8 英寸氧化镓同质外延量产线,,,,批次间品质稳固可控。。现在外洋多家企业和科研机构已陆续下单,,,,多家相助客户已举行了恒久稳固采购。。
▲ 6 英寸氧化镓同质外延片已实现批量供货(右下角为镓仁 2 英寸外延片比照样)
IT之家盘问果真资料获悉,,,,杭州镓仁半导体有限公司是一家国产氧化镓质料与装备解决方案提供商,,,,专注于超宽禁带半导体领域的手艺研发与工业化落地。。该公司焦点产品包括:2-8 英寸氧化镓单晶与衬底(其中 8 英寸为国际首发)、氧化镓笔直布里奇曼法(VB 法)长晶装备、2-8 英寸氧化镓同质外延片(其中 8 英寸为国际首发)等,,,,致力于构建“装备-晶体-衬底-外延”全链条产品系统。。
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