快科技7月6日新闻，，，杭州镓仁半导体克日宣布，，，全球首条兼容6英寸与8英寸的氧化镓同质外延量产线正式周全投产。。。

首批6英寸（100）面氧化镓同质外延晶圆已同步交付海内头部晶圆厂开展器件试样验证。。。这标记着我国第四代超宽禁带半导体质料实现规模唬；坎卮笸黄。。。

在此之前，，，全球氧化镓工业恒久受限于2至4英寸小尺寸产能瓶颈，，，外洋厂商无法实现6英寸及以上同质外延商业化供货。。。

小尺寸晶圆单批芯片产出少、制造本钱居高不下，，，难以适配新能源、特高压等领域大批量工业化制造需求。。。镓仁半导体一举买通了单晶生长、衬底加工到同质外延的全流程量产链路。。。

手艺层面，，，该产线依托企业自研的铸造法单晶长晶手艺与定制化MOCVD外延工艺。。。自研铸造法可稳固生长超厚氧化镓晶体，，，大幅镌汰贵金属铱的消耗。。。

配合超薄衬底加工手艺，，，衬底单片本钱降幅凌驾80%，，，单块晶体的出片量提升至古板工艺的3到4倍。。。

工艺数据显示，，，该产线产出的外延片厚度凌驾10微米，，，膜厚匀称性方差低于1%，，，晶体缺陷密度大幅优化。。。

同质外延晶格完善匹配衬底，，，可充分释放氧化镓超高耐压、低导通消耗的质料优势。。。该产线已成为全球唯一具备6英寸氧化镓同质外延稳固供货能力的产线。。。

8英寸工艺已同步完成手艺验证并预留扩产空间，，，手艺水平领先外洋同类方案至少三年。。。这条兼容产线可直接复用海内现有成熟晶圆制造装备，，，无需新建专属产线。。。

氧化镓适配800V车载快充、光伏储能、高压电网、日盲紫外探测等高端场景。。。本次产线投产正式推动氧化镓从实验室研发迈入商业化批量供货阶段。。。

现在多家外洋企业及科研机构已陆续下单，，，部分相助客户已开展恒久稳固采购。。。